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等离子体刻蚀工艺优化：光子级金刚石绝缘体上基底与比色法厚度评估

## 引言：从宝石到量子比特——金刚石的华丽转身 金刚石这种在珠宝市场上以璀璨光芒著称的天然矿物，正在量子信息科学领域掀起一场静悄悄的革命。长久以来，人们对金刚石的认知停留在硬度极高、折射率出色、导热性能优异这些经典物理特性上。然而，自1